SCA61T系列高精度单轴倾角传感器是基于3D MEMS的单轴倾角计，它提供了水平测量仪表级别的性能。SCA61T系列高精度单轴倾角传感器低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让其成为水平测量仪器的不二选择。
1、在工作全温区内长期保持高稳定性。
2、ug级别的分辨率。
3、能遭受超过20，000g的冲击。
4、传感器元件做了机械阻尼设计，可忽略掉高频振动的影响。
5、多种方式的自我诊断设计，方便工程调试设计。
6、使用标准的双排针塑料表贴封装。
7、不需要编程，不需要进行再校正。
8、内部增加温度补偿传感器。
9、仅需一个5V直流供电。
10、同时具有模拟和数字输出（SPI）接口。
11、单晶硅材料- 杰出的防冲击性能。
12、不会有柔性变形- 在机械冲击过程中不会有参数偏移。
13、内部气体阻尼- 机械振动辨别力。
14、经过微加工的质量块- 低于15mg/Hz噪声的ug级分辨率。
15、相对称的电容感应传感器元件—卓越的零点依稀和稳定的灵敏感性度。
| 参数名称 | 条件 | SCA61T-FAHH1G | SCA61T-FA1H1G | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| VDD | 4.75～5.25 | 4.75～5.25 | V | |
| 工作电流 | VDD=5V;无负载 | 2．5～4 | 2.5～4 | mA |
| 工作温度 | -40～125 | -40～125 | ℃ | |
| 测量量程 | 常规 | ±30 | ±90 | ° |
| 频率响应 | -3dB | 8-28 | 8-28 | Hz |
| 零点输出（0g） | 环比输出 | VDD/2 | VDD/2 | V |
| 零点校正误差 | ±0.11 | ±0.23 | ° | |
| 零点数字输出 | 1024 | 1024 | LSB | |
| 灵敏度 | 4 | 2 | V/g | |
| 灵敏度校正误差 | ±0.5 | ±0.5 | % | |
| 数字灵敏度 | 1638 | 819 | LSB/g | |
| 零点温漂 | -25～85℃ | ±0.008 | ±0.008 | °/℃ |
| 灵敏度温漂 | -25～85℃ | ±0.014 | ±0.014 | %/℃ |
| 线性度 | ±0.11 | ±0.57 | ° | |
| 数字分辨率 | 11 | 11 | Bits | |
| 输出噪声密度 | 0～100Hz | 0.0008 | 0.0008 | °/√Hz |
| 模拟分辨率 | 带宽10Hz | 0．0025 | 0．0025 | ° |
| 环比误差 | VDD=4.75～5.25V | ±1 | ±1 | % |
| 交叉灵敏度 | Max. | 4 | 4 | % |
| 长期稳定性 | <0.014 | <0.014 | ° |
